2003年1月号86号   2003/01/15発行

目次 執筆者
新年のご挨拶 工業会活動をもっと元気に 廣瀬政義(日本真空工業会 会長)
年頭所感 藤田義文(経済産業省製造産業局産業機械課長)
JVIA環境自主行動計画  
TECH・テク・TAKE 「地上に太陽の光を作る」無尽蔵の水素が巨大エネルギーを生む ~レーザー核融合とは~ 山中龍彦(大阪大学 レーザー核融合研究センター長 工学博士)
【特集】 高温超電導  
高温超電導開発動向と薄膜技術 田辺圭一(超電導工学研究所 第6・7研究部長)
高温超電導酸化物の大面積薄膜作製技術の研究動向-限流器応用を中心として 山崎裕文(産業技術総合研究所 電力エネルギー研究部門 超電導材料技術グループリーダー)
セミコン・ジャパンReport 田代公一(アネルバ(株))
日本の真空産業を築いた方々 柴田英夫
わが社のいちおしNo.9 日本バルカー工業(株)
研究室紹介 東洋大学工学部 電気電子工学科 物性工学研究室 柏木邦宏(東洋大学工学部 電気電子工学科 物性工学研究室教授)
真空常識・非常識 イオン源 上田雅弘((株)島津製作所 半導体機器事業部技術部)
新製品紹介  
台湾の企業視察報告 木ノ切恭治(日本真空工業会 専務理事)
「ナノテクと真空ビジネス」 荘司弘樹((株)三菱総合研究所 先端科学研究センター)
2002年「国際交流会」講演 「中国の真空産業の現状と今後の展望」 李 孟春(中国真空行業協会 理事長)
環境相談室(第2回)  
JVIA便り  

 

2003年3月号87号 2003/03/12発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて “神様のいたずら” 加藤孝幸(日本真空工業会 常任理事)
TECH・テク・TAKE 溶融接合では困難な形状も一体に。 新機能を生みだす拡散接合技術。 ~製造業の未来を開く独自開発に向けて~ 谷地田茂明((株)ヤチダ 代表取締役社長)
【特集】 薄膜センサ  
薄膜センサ技術の現状と将来動向 毛塚博史(東京工科大学バイオニクス学部助教授)
有機・無機複合膜の湿度センサへの応用 柏木邦宏(東洋大学工学部 電気電子工学科 教授) 吉田泰彦(東洋大学工学部 電気電子工学科)
わが社のいちおしNo.10 コフロック(株)
研究室紹介 東北大学 未来科学技術共同研究センター(NICHe) フォトニック結晶新機能デバイスプロジェクト(川上研究室) 川上彰二郎(東北大学未来科学技術共同研究センター 教授)
真空常識・非常識 電子ビーム源 峯岸英夫 (日本電子(株)産業機器技術本部 第2グループ長)
新製品紹介  
環境相談室(第3回)  
【新春記念講演会】 これからの特許戦略 大嶋洋一(特許庁特許審査第三部半導体機器審査官)
【第1回国内企業視察】 荏原製作所藤沢事業所・山川機械製作所本社工場視察報告 JVIA事務局
JVIA便り  

 

2003年5月号88号 2003/05/15発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 頂きをめざし… 高橋 貢(日本真空工業会 理事)
TECH・テク・TAKE 宇宙における真空のエネルギー ~宇宙誕生と進化の謎がここに~ 佐藤勝彦(東京大学大学院理学系研究科付属ビッグバン宇宙国際研究センター長)
【特集】 表面基礎研究  
表面原子スケールキャラクタリゼーションの最新動向 吉森昭夫(岡山理科大学総合情報学部 教授)
TiNスパッタリング装置の防着シールド部品に対応した表面処理技術(アルミニウム溶射膜)の開発 佐藤 誠、多田 稔、池田浩二(アネルバ(株))
蒸着重合法を用いた抗菌性ポリイミドと作製用装置VEP-3000 入倉 鋼、高橋善和、飯島正行、中塚 篤((株)アルバック)
超臨界CO2(SCCO2)技術の使用により、65nm以下のクリーニングプロセスを実現 野澤史和(日本エドワーズ(株)
わが社のいちおしNo.11 アユミ工業(株)
研究室紹介 豊橋技術科学大学 電気・電子工学系 プラズマナノマテリアル研究室 滝川浩史(豊橋技術科学大学 電気・電子工学系助教授)
真空常識・非常識  ベローズ 加藤良浩(入江工研(株)四国事業所 技術グループ)
環境相談室(第4回) 監修:環境・CS委員会 環境小委員会
新製品紹介  
「ナノテクと真空ビジネス」   ボトムアップ型テクノロジー 荘司弘樹((株)三菱総合研究所 先端科学研究センター)
廃棄物削減対策の推進 環境小委員会
環境・CSセミナー報告 環境・CS委員会
JVIA便り  

2003年7月89号 2003/07/13発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 地上の星 入江則裕(日本真空工業会 監事)
TECH・テク・TAKE 軟弱地盤を短期間に低コストで改良 ~真空を活用したN&H強制圧密脱水工法とは~ 真空圧密技術協会 中熊和義(名誉顧問) 島 博保(副幹事長 技術士(建設部門)) 三反畑勇(事務局 技術士(建設部門))
【特集】 ナノバイオテクノロジー  
ナノバイオテクノロジーを巡る政府の取組について 上村昌博(経済産業省製造産業局 生物化学産業課 課長補佐)
CT法による透過電子顕微鏡像の3次元再構成 -TEMトモグラフ- 佐藤泰彦(日本電子(株)応用研究センター) 古河弘光(日本電子システムテクノロジー(株)) 清水美代子(日本電子システムテクノロジー(株))
わが社のいちおしNo.12 (株)大阪真空機器製作所
研究室紹介 大阪大学大学院工学研究科 物質・生命工学専攻 分子システム工学講座(横山研究室) 教授 横山正明
真空常識・非常識 真空バルブ 谷口 昇((株)フジ・テクノロジー 代表取締役社長 )
「ナノテクと真空ビジネス」 -ナノテクノロジーとのつきあい方- 荘司弘樹((株)三菱総合研究所 先端科学研究センター)
省エネ活動の推進 環境小委員会
環境相談室(第5回) 環境小委員会
新製品紹介  
第3回(平成14年度)日本真空工業会表彰  
日本真空工業会第19回定時総会報告  
日本真空工業会関西支部第17回定時総会報告  
JVIA便り  

 

2003年9月号90号 2003/09/12発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 元気な職場と元気な若者に期待 磯野武雄(日本真空工業会 監事)
TECH・テク・TAKE 産学官連携をバネに新技術を磨く ~山口県・宇部の元気企業が目指す夢のモノづくり~ 岸野昭二((株)アルモウルド 社長)
【特集】 真空ポンプ技術  
真空ポンプの10年 尾高憲二(産業技術総合研究所 極微プロファイル計測研究ラボ)
クライオポンプにおける省エネ技術-「マルチNAVI」の開発- 青木一俊(アネルバ(株) 真空ソリューション事業部)
SEMの小型化・性能向上を実現する同軸イオンポンプ開発 山口広一((株)アルバック 超高真空事業部 技術部)
スクリューポンプの真空用途への最適化 Dr.-Ing. T. Dreifert Dr.-Ing. K. Rofall, Cologne (ライボルト(株))
セミコンウエスト2003視察研修報告 日本真空工業会 大嶋哲雄
わが社のいちおしNo.13 大阪ラセン管工業(株)
研究室紹介 佐賀大学 電気電子工学科 プラズマエレクトロニクス研究室 教授 藤田寛治、助教授 大津康徳、助手 三沢達也
真空常識・非常識  真空用フランジ・継手 星野 明((株)アルバック 超高真空事業部 設計部1課 課長)
新製品紹介  
【真空技術基礎講習会】 「第9回真空ウォーキングコース」開催報告 教育小委員会
真空ウォーキングコースに参加して 大上耕平((株)島津製作所)
環境相談室(第6回) 監修:環境・CS委員会 環境小委員会
JVIA便り  

 

2003年11月号91号 2003/11/15発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 教育の国際化 石川雄一(日本真空工業会 理事)
TECH・テク・TAKE 「ナノ構造体の材料力学」を構築へ ~電子顕微鏡を用いて原子を操り電気特性や力学特性を計測~ 木塚徳志(筑波大学 物質工学系助教授 工学博士)
【特集】 薄膜・材料の最新技術  
透明な超はっ水薄膜のプラズマCVDによる形成と応用 高井 治(名古屋大学理工科学総合研究センター 教授)
光学薄膜材料の技術 青木智則((株)オプトロン 開発部 第2開発室 室長)
わが社のいちおしNo.14 アネスト岩田(株)
研究室紹介 姫路工業大学大学院工学研究科 機械系工学専攻機械知能工学部門 教授 井上尚三
真空常識・非常識  磁性流体シール 廣岡正剛((株)フェローテック精密 技術部部長 )
環境相談室(第7回) 監修:環境・CS委員会 環境小委員会
新製品紹介  
第3回日本真空工業会表彰  
【VACUUM2003-真空展】 真空展2003を振り返って 鈴木 晃 展示会委員会(アネルバテクニクス(株))
第4回真空フォーラム、第4回真空シンポジウム報告  
【講演会】真空産業の国際化  
JVIA便り