20011月号 74号  2001/01/12発行

目次 執筆者
新年のご挨拶 新世紀の真空産業とJVIA 角 忠夫(日本真空工業会 会長)
年頭所感 佐々木伸彦(経済産業省製造産業局産業機械課長)
最新情報57 ミニ地球と居住実験について -閉鎖型生態系実験施設の概要- 遠藤政弘((財)環境科学技術研究所 次長・主任研究員)
【特集】 CVDプロセスと装置技術 古村雄二((株)富士通研究所 主管研究員)
最近のドライエッチングのプロセス技術と装置技術 吉田幸正((株)東芝 セミコンダクター社 部長)
イオン注入のプロセス技術と装置技術の最新動向 北島 洋(NECエレクトロンデバイス 先端デバイス開発本部 基礎プロセスグループ プロジェクトマネジャー)
POWERECOシリーズクライオポンプによる半導体製造装置の省エネ化への貢献 山本 久(アネルバ(株)真空コンポーネント事業部 真空ポンプグループ)
真空-そこに夢模様29 高精度の試作品を短納期・低コストで実現 新製品開発に威力を発揮する真空注型 清水勝明((株)三愛 代表取締役)
研究室紹介 東京都立大学精密加工学研究室 古川勇二(東京都立大学大学院工学研究科精密加工学研究室 教授)
チャンバーマンと真空
海外拠点便り Introducing the Readers to the Anelva United Kingdom Branch office the Employees and Scotland Shinji Shinfuku(Anelva U.K .General Manager)
ウォッチング(第53回)おじゃましますJVIA探検隊 ~行ってみなけリゃわからない~ (株)グリーンテック
新製品紹介
セミコンジャパンレポート 高橋 毅(アネルバ(株))
JVIA便り

 

2001年3月号 75号 2001/03/14発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて ジャイアンツが勝てば、景気は良くなる 石田征久(日本真空工業会 理事)
最新情報58 鉄シリサイドβ-FeSi2を活性領域とするSi系LEDの室温発光 -SiICの光配線用光源を目指して- 長谷川文夫(筑波大学物理工学系 教授) 末益 崇(筑波大学物理工学系 講師)
【特集】 最近のFPDの製品開発動向と製造プロセス動向 佐藤光世((株)プレスジャーナル 調査部部長)
大画面・高解像度液晶ディスプレイを実現する低温ポリシリコンTFT技術 小穴保久((株)東芝 ディスプレイ・部品材料社 液晶開発センター 主幹)
APC対応のMKS真空コンポーネント 鈴木 勲(日本エム・ケー・エス(株))
LCD産業への挑戦 ディーン オコナー(日本エドワーズ(株)マーケティング部LCD担当課長)
半導体ウェハ用超精密吐出型コーティング装置 ((株)島津製作所 産業機械事業部メディア部)
真空-そこに夢模様30 ナノテクノロジーを支える独立分散超微粒子 電子部品実装技術で期待される大いなる可能性 小田正明((株)アルバック・コーポレートセンター ナノパーティクル応用開発部 部長・工学博士)
日本の真空産業を築いた方々 第7回 小宮宗治
研究室紹介 極限微小光素子の研究 馬場俊彦(横浜国立大学工学部電子情報工学科 助教授)
チャンバーマンと真空
海外拠点便り サンノゼ駐在記 西出昭彦((株)大阪真空機器製作所カリフォルニア支店長)
ウォッチング(第54回)おじゃましますJVIA探検隊 ~行ってみなけりゃわからない~ 日本アエラ(株)
新製品紹介
欧州真空工業界との交流を終えて 団長 角 忠夫(日本真空工業会会長)
セミコンKorea 001 レポート 展示会“SEMICON”の今 玉井敦也((株)荏原製作所)
JVIA便り

 

20015月 76号 2001/05/15発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 食料安全保障… 水谷 理 (日本真空工業会 理事)
最新情報59 窒化ガリウム単結晶の育成 -アルカリ金属融液を用いた新しい単結晶作製法- 山根久典(東北大学多元物質科学研究所 助教授)
【特集】FPDの製品動向とプロセス技術(パートⅡ)
アモルファスシリコンTFT-LCDの製品動向と製造プロセス動向 北原洋明(日本アイ・ビー・エム(株))
カラープラズマディスプレイ 布村恵史、小西庸雄(NECエレクトロンデバイス)
有機ELディスプレイの現状と今後の動向 柴田賢一、高橋寿一(三洋電機(株)ニューマテリアル研究所)
FED開発の現状 伊藤茂生(双葉電子工業(株)商品開発センター)
MgO成膜/封着・排気一貫プロセス 織井雄一(日本真空技術(株)第1電子機器事業部)
日本の真空産業を築いた方々 第8回 笠岡亥一郎((株)大阪真空機器製作所 代表取締役社長) (日本真空協会法人理事)
真空-そこに夢模様30 高まる核融合エネルギーへの期待 国際熱核融合実験炉(ITER)計画のキーテクノロジーとなる真空 阿部哲也(日本原子力研究所 那珂研究所 核融合工学部 ブランケット工学研究室 主任研究員)
研究室紹介 ダイヤモンド薄膜の作製と応用に関する研究 澤邊厚仁(青山学院大学理工学部 電気電子工学科 教授)
チャンバーマンと真空
ウォッチング(第55回)おじゃましますJVIA探検隊 ~行ってみなけりゃわからない~ 東京エレクトロンAT(株)
新製品紹介
「真空圧力計測に関する講演会及び平成12年度トレーサビリティ・ワーキング活動報告会」 浅見 博(技術委員会
第一回アジア大平洋計量計画 圧力・真空国際シンポジウムに参加して 大工原茂樹(技術委員会)
NIST Dr. Patrick J.Abbott講演会報告 宇都宮信明(技術委員会トレーサビリティ・ワーキング・リーダー)
【欧州視察座談会】  第31回海外真空産業視察ツアーを終えて
JVIA便り

 

20017月号 77号 2001/07/13発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 挑戦者たちへの応援歌 岡田悦男 (日本真空工業会 理事)
最新情報60 ナノ粒子のレーザーマニピュレーション 常温、溶液中におけるナノ粒子一粒ずつの操作、配列、固定化 伊都将司、吉川裕之、増原 宏(大阪大学大学院工学研究科応用物理学専攻)
【特集】高周波通信デバイス
高周波用半導体デバイスの技術開発及びプロセス動向 原 直紀((株)富士通研究所)
ギガヘルツ時代におけるSAWデバイスの製品動向 越野昌芳((株)東芝 ディスプレイ・部品材料社)
ギガヘルツ時代における水晶デバイスの開発動向と薄膜技術 石井 修(東洋通信機(株))
次世代SAWデバイス用スパッタリング装置C-7010 (アネルバ(株))
真空-そこに夢模様32 夢を色とりどりに膨らます風船 バルーン用ラッピングシステムに、真空と大気の圧力差を利用 名古屋壽男(宝興産(株)本社営業部 リーダー)
日本の真空産業を築いた方々 第9回 小山富太郎
研究室紹介 コンビナトリアルテクノロジーの世界を拓く -東京工業大学 鯉沼研究室- 鯉沼秀臣(東京工業大学フロンティア創造共同研究センター教授)
チャンバーマンと真空
ウォッチング(第56回)おじゃましますJVIA探検隊 ~行ってみなけりゃわからない~ 東京電子(株)
新製品紹介
セミコンシンガポールを終えて 諏訪本聡((株)荏原製作所)
21世紀の環境に対する経営者の責務 前田 滋((株)荏原製作所)
第1回(平成12年度)日本真空工業会表彰
総会 会長ご挨拶 2001年度JVIAの活動方針 角 忠夫(日本真空工業会 会長)
JVIA便り

 

20019月号 78号 2001/09/12発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 還暦なんて言うな 小田切輝(日本真空工業会 理事)
Tech・テク・Take 常識をくつがえす超高純度鉄 純度99.9995%の鉄の世界とは 安彦兼次(東北大学金属材料研究所助教授 工学博士)
【特集】DWDMシステムのキーデバイスと薄膜技術
DWDM光伝送システムの開発動向 江村克己(日本電気(株)ネットワーキング研究所)
波長多重通信システム用半導体レーザーの開発状況 若尾清秀(富士通カンタムデバイス(株))
平面光波回路技術を用いたDWDM用合分波器 高橋 浩(日本電信電話(株)NTTフォトニクス研究所)
光学フィルタと光学薄膜形成技術 小泉達也、孫 大雄、范 濱((株)オプトラン)
DWDMシステム用光スイッチの技術開発動向 日比野喜典(日本電信電話(株)NTTフォトニクス研究所)
わが社のいちおしNo.1 (株)シンクロン
研究室紹介 九州大学・ナノ集積テクノロジー研究室 宮尾正信(九州大学・大学院システム情報科学研究院 教授)
真空常識・非常識 クライオポンプ 降矢新治(アルバック・クライオ(株)取締役 技術部長)
新製品紹介
環境破壊の四方山 監修:環境委員会広報・教育ワーキンググループ
セミコンウエスト2001視察・研修Report 小寺武明(日本真空工業会)
【真空技術基礎講習会】 「第7回真空ウォーキングコース」開催報告 技術委員会 講習会ワーキング
真空ウォーキングに参加して 藤本将純((株)島津製作所)
JVIA便り

 

200111月号 79号 2001/11/15発行

目次 執筆者
巻頭に寄せて 私の住んだ「イスラム社会」 碇 謙一(日本真空工業会 理事)
Tech・テク・Take 植物の光合成をお手本にした有機色素利用太陽電池 上原 赫(大阪府立大学先端科学研究所 教授 工学博士)
【特集】薄膜太陽電池の最新動向
太陽電池の技術開発の現状と展望 小長井誠(東京工業大学大学院理工学研究科電子物理工学専攻教授 工学博士)
アモルファスシリコン太陽電池の開発動向 八木啓吏(三洋電機(株)ニューマテリアル研究所 電子材料研究部 主任研究員)
薄膜シリコンハイブリッド太陽電池の最新動向 山本憲治(鐘淵化学工業(株))
CIS系薄膜太陽電池の最新動向 櫛屋勝巳(昭和シェル石油(株)中央研究所)
薄膜太陽電池用プラズマCVD装置 CCV-1000 菊池正志、小形英之((株)アルバック)
【VACUUM2001-真空展】 真空展に参加して 中田逸雄 広報委員会展示WG
わが社のいちおしNo.2 (株)昭和真空
研究室紹介 北海道大学大学院工学研究科プラズマ真空工学分野 日野友明(北海道大学大学院工学研究科プラズマ真空工学分野 教授)
真空常識・非常識 ドライポンプ 片山健一(大晃機械工業(株) 真空営業部 部長)
新製品紹介
環境破壊の四方山話 第2話古代文明の環境破壊 監修:環境委員会 広報・教育ワーキンググループ
日本真空工業会表彰
日韓真空工業会の交流調印式
「VACUUM2001-真空展」国際交流会、第2回「真空シンポジウム」開催
JVIA便り