背景2


一対の平行平板陰極間に環状陽極を置き、それらの軸に平行に磁界をかける冷陰極電離真空計。[JISより]

ペニング真空計 (冷陰極電離真空計)

英文名 : Penning gauge (Cold cathode ionization gauge)

[構造・原理]

熱陰極形の熱フィラメントからの熱電子に代わり、冷陰極放電による電子を利用しフィラメントが焼損しないようにした電離真空計で、陰極で発生した電子を磁界の作用で螺旋運動させ、電子の軌道を長くしイオン化率を高めようとするもの。
[特徴]

気体の種類によって感度が大きく変わり、またポンプ作用も大きい。熱陰極形と比較し、直線性や再現性に劣るが、電気回路が簡単で、センサヘッドが堅牢で長寿命なことから工業計器として、高精度の圧力測定が必要でない場面で広く使われている。

ペニング真空計

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