背景2


加熱されている素子が金属細線で、その電気抵抗が温度によって変化することを利用する熱伝導真空計。[JISより]

ピラニ真空計 (熱伝導真空計)
英文名 : Pirani gauge (Thermal conductivity gauge)

[構造・原理]

ガラス管又は金属管内に封入した金属細線(白金線等)を、通電加熱し、気体
分子による熱伝導を測定し、圧力を求める真空計で、金属細線にかける電圧
を一定にする低電圧方式と金属細線の温度を一定にする定温度方式がある。

[特徴]

中真空領域での安価な電気式真空計として幅広く使用されているが、気体の
種類によって熱伝導が異なるので気体による感度校正曲線が必要になる。
また、雰囲気の温度やフィラメントの汚れなどの影響や受け易いため、正確な
測定には適していない。

ピラニ真空計

 

 

 

 

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