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軸流タービン形の翼をもつロータ及びステータからなる分子ポンプ。[JISより]

ターボ分子ポンプ、複合分子ポンプ

英文名: turbo-molecular pump,compound molecular pump

排気原理:分子流領域で作動するポンプ。ある傾きを持った羽根で構成される動翼と逆向きの傾きを持った羽根で構成される静翼が交互に数段から十数段配置されている。その動翼がガスの平均速度に近い高速で運動することにより翼の両側からのガスの通過確率に違いを生じ排気作用が発生する。ドラッグポンプ機能を付加した複合分子ポンプや軸受けにベアリングや磁気浮上を採用したものなど用途に応じたバリエーションがある。

長所:クリーンな高真空が簡単に得られる。排気容量に限界がない。

短所:高速回転であるため安全性に注意が必要。

用途:半導体製造装置、蒸着装置、スパッタ装置、分析装置、エッチング装置、加速器等

ターボ分子ポンプ

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