背景2


シールドに囲まれた集イオン電極を円筒状グリッドの軸に沿い、その外側に置くことによってX線限界を低下させる超高真空用の熱陰極電離真空計。[JISより]

エキストラクタ真空計 (熱陰極電離真空計)

英文名 : Extractor gauge (Hot cathode ionization gauge)

[構造・原理]

シールドに囲まれた集イオン電極を、円筒状グリッドの軸に沿い、その外側に置くことによってグリッドからの軟X線の影響を低下させることによって測定可能な圧力限界をさらに改善した超高真空用の熱陰極電離真空計。
[特徴]
軟X線効果は10-11Paと推定されるため、2×10-10Paの極高真空領域まで測定できる製品もある。
一方、電極構造が複雑になるために、電極からの放出ガスの問題があり、扱い難い面も持っている。

エキストラクタ真空計

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