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日本真空協会(現・一般社団法人 日本真空学会)の中に「工業部会」として活動していたグループがあり、これが1985年(昭和60年)分離独立して誕生したのが日本真空工業会でした。

日本真空協会は昭和33年7月に設立された団体で、学術活動と工業活動という性格の異なる事業を展開してきておりました。
昭和56年頃からの真空技術は、高度先端技術として半導体産業、電子産業をはじめ主要産業の発展のためのキーテクノロジーと言われる重要な産業と位置付けられるようになってきました。
また、1984年(昭和59年)8月通商産業省産業機械政策懇談会でとりまとめられた産業機械産業のビジョンの中で、「真空産業は先端技術の発展を支える基幹産業」と位置付けられ、真空業界も産業振興のための組織活動の必要性が増してきました。

こうした真空産業の環境の変化に対応し、急速に拡大する真空産業の発展を図るうえで、真空技術の学術面での研究と産業の発展を図っていくことが重要であることから、真空産業の振興に機動力をもたせるうえで、真空協会の工業部会を独立させ、産業振興面での工業会組織の設立が不可欠となってきました。

このような状況の中で当時の工業部会が独立を決意し1985年(昭和60年)7月に設立するに至りました。

通年年度歴代会長(所属会社)主な成果・実施事項
019851斎藤 泰蔵(徳田製作所)日本真空協会から独立して日本真空工業会を7月設立。
関西支部、企画・技術・調査・広報委員会が発足。
119862織田 善次郎(日電アネルバ)「JVIA会報」創刊、「会員名簿」の発行。第1回AEJフォーラム開催。
21987第1回AEJフォーラム開催。各種規程の制定。
319883笠岡 亥一郎(大阪真空機器)「JVIA会報」年4回発行。全会員の「受注・売上統計」調査開始。
41989委託調査「真空利用による高度先端技術の調査研究」報告書発行。
519904近藤 繁一(日本真空技術)米国AVEM会長、台湾真空協会会長招請、初の国際交流(第12回真空展)。
61991「真空機器の分類表」発行、第6回AEJフォーラム開催(最終回)。
719925和泉 巖(日電アネルバ)「JVIA会報」年6回発行。「21世紀先端産業基盤技術の動向調査」報告書発行。
81993「JVIA会報」を「真空ジャーナル」に改称、「SI単位系ガイドライン」発行。
919946鈴木 三郎(芝浦製作所)委託調査「21世紀先端技術の応用と成果予測調査」報告書発行。
101995創立10周年記念式典実施。第1回真空ウォーキングコース開講。
1119967上野 朝生(日本真空技術)CS委員会新設。長期ビジョンワーキングの設置。
8中村 久三(同  上)委託調査「真空領域における環境計測技術の調査」報告書発行。
121997「長期ビジョンワーキング報告書」発行。
1319989西平 俊二(アネルバ)「アクションプラン21プロジェクト会議」設置。「真空ポンプ用語集」発行。
141999事務局、御成門に移転。JVIAホームページ開設。
「初歩から学ぶ真空技術」発刊。
15200010角 忠夫(芝浦メカトロニクス)欧州企業と国際統計構築で合意。「アクションプラン21」スタート。
第1回真空フォーラム及び真空シンポジウム開催、JVIA表彰制度発足。
162001国際統計収集と発表で日米欧が合意。「真空用語事典」発刊。
韓国真空研究組合と交流協定調印、中国真空設備行業協会と交流。
17200211廣瀬 政義(荏原製作所)「日本標準産業分類」に真空機器製造業が登録。委員会を改変し、企画・
教育・規格標準・技術・統計・環境CS・展示会の7委員会となる。
182003特別会員制度の設置。「作業員が遭遇した危険な事例集」発行。
「アクションプラン21('03年)」開始。真空技術者資格認定試験の開始。
19200412今村 有孝(アネルバ)低真空事業調査小委員会発足。「有機半導体デバイス調査報告書」発行。
「ターボ分子ポンプの安全性確保に関するガイドライン」発行。
202005創立20周年。「作業時に使用する治工具の取り扱い」発行。
「真空ポケットブック」発行。真空ジャーナル100号/20周年記念号発行。
21200613加藤 孝幸(島津製作所)ロシア真空展「Vacuum Tech Expo'2006」出展。
「低真空事業調査小委員会活動報告書」発行。
222007ホームページのリニューアル実施。
新教育講座(真空技術実践講座、真空技術応用講座、安全教育講座)の開始。
23200814諏訪 秀則(アルバック)委員会を改変し、企画・教育・出版・展示会・規格標準・技術・統計・環境・CSの9委員会となる。
海外企業視察研修(インド)実施。
242009「安全保障貿易管理説明会(適格説明会)」実施。
関西支部若手交流会・韓国研修実施。「真空ポケットブック」改訂版発行。
25201015南 健治(芝浦メカトロニクス)「薄膜・材料と真空技術」調査報告会の実施。
「低真空事業調査小委員会・活動報告会」の実施。
262011「真空技術実践講座」リニューアルして実施。
「医療・健康と真空技術」調査報告書発行。
27201216辻村 学(荏原製作所)サプライヤ交流会の開催
「洗浄展」との合同開催真空展
282013「ロボット展」等の合同開催真空展
「環境・エネルギーと真空技術」調査報告書発行
29201417酒井 純朗(キャノンアネルバ)-
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